电子探针

1、技术原理

用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征X射线。分析特征X射线的波长（或特征能量）即可知道样品中所含元素的种类（定性分析）。分析X射线的强度，则可知道样品中对应元素含量的多少（定量分析）。

详细实验步骤参考SY/T 6027-2019《岩石矿物电子探针定量分析方法》，下载该标准请转到本网站“下载中心”栏目里“分析方法及标准”。

2、主要仪器简介

本实验室JXA-8230电子探针显微分析仪（EPMA）配置钨灯丝电子枪（LaB₆）、5道波谱仪（WDS）、5ch结构分光晶体、以及牛津能谱（X-MAX^N），可以实现：

①样品的表面形貌观察、矿物相间的关系和内部结构特征背散射图像观察分析二次电子图像观察分析定量分析；②常规造岩矿物(包括氧化物、硅酸盐、磷酸盐、硫酸盐、碳酸盐矿物)中主量元素含量分析；③金属硫化物中主要元素含量分析；④稀土矿物成分分析；⑤特定矿物中重要次、微量元素定量分析线扫描和面扫描分析；⑥造岩矿物中主要元素的线扫描分析和面扫描分析特定矿物中元素线扫描分析和面扫描分析；⑦挥发组分(如F CI等)线扫描分析和面扫描分析能谱分析等等

技术指标：

（1）检测元素范围：WDS：Be~U；EDS：B~U

（2）X射线检测范围：WDS波长检测范围：0.087~9.3nm

EDS能量检测范围：20keV

（3）最大样品尺寸：100nm×100mm×50mm(H)

（4）加速电压：0.2~30kV(0.1kV步进)

（5）探针电流范围：10^-12~10^-5A

（6）探针电流稳定度：±0.05%/h；±0.3%/12h(W)

（7）二次电子分辨率：5nm（15Kv）

（8）背散射电子分辨率：20nm（15Kv）

（9）扫描放大倍率：×40~×300000(W.D.11mm)

（10）扫描图像分辨率：最大5120×3840

3、测试须知

送样需求：直径25mm，长度为50mm岩心或不小于此尺寸的岩石标本；

测试报告：可联系对应销售工程师获取参考报告。